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磊晶處理后的滑線檢查技術(shù)

發(fā)布時(shí)間：2022-06-16　點(diǎn)擊量：1291

磊晶處理后的滑線檢查技術(shù)

高倍率表面缺陷檢測(cè)設(shè)備（放大魔鏡）

product02-item02

YIS 系列的高倍率檢測(cè)設(shè)備可在螢?zāi)簧铣尸F(xiàn)一個(gè)10mm的視場(chǎng)。
特別廣泛應(yīng)用于磊晶處理后的滑線檢查。同時(shí)也適用于硬碟或光學(xué)拋光元件。
檢測(cè)靈敏度約相當(dāng)于50倍的微分干涉像差顯微鏡。


Product features

  • 1即時(shí)顯示所有表面狀態(tài)。

  • 2光學(xué)系統(tǒng)對(duì)應(yīng)等級(jí)１。

  • 3光學(xué)系統(tǒng)無(wú)須維護(hù)。

  • 4根據(jù)檢測(cè)內(nèi)容，可修正檢測(cè)靈敏度。

  • 詢問此產(chǎn)品的型錄

檢測(cè)尺寸從φ100mm至φ300mm
檢測(cè)內(nèi)容平坦度、凹洞、凸起、刮痕、橘皮等
檢測(cè)倍率1x / 3x 模式可切換（標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備）
檢測(cè)靈敏度檢測(cè)靈敏度可連續(xù)調(diào)整
使用光源550nm　（固定照度之穩(wěn)定光源）
鏡頭高解析度CCD鏡頭
平臺(tái)手動(dòng)平臺(tái)（標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備）
用途
鏡面晶圓的表面檢測(cè)
滑線檢測(cè)
玻璃基板檢測(cè)
其他鏡面基板檢測(cè)
選配
電動(dòng)馬達(dá)檢測(cè)平移臺(tái)
自動(dòng)判定缺陷影像處理裝置
影像列印機(jī)